2025年09月19日 星期五
項(xiàng)目組開發(fā)的產(chǎn)品屬微電子技術(shù)裝備，為我國(guó)的極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)提供達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)的創(chuàng)新型核心裝備。產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應(yīng)用于高校科研院所的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，如清華大學(xué)、香港理工大學(xué)、北京師范大學(xué)等等，而且正在逐步進(jìn)入中國(guó)的IC裝備業(yè)，目前已經(jīng)與北方微電子、中微半導(dǎo)體、沈陽(yáng)拓荊、七星華創(chuàng)建立了合作關(guān)系，即將為這些國(guó)內(nèi)頂級(jí)IC廠商提供達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)的創(chuàng)新型固態(tài)射頻電源，提升這些廠商整機(jī)設(shè)備的本土產(chǎn)品配套率。
